機器消耗品市場

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商品NO	1010	商品名	UHV標準チャンバーI	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	UHV標準チャンバーI	価格		商品問合せ
特徴	•縦横自在 •二つ合わせれば成膜室+ロードロック室として構築できます •多機能な用途に利用されます					カタログ
仕様	SUS304 表面処理：バフ研磨+電解研磨リーク量：1.33x10-11Pa以下フランジ数：ICF70×5　ICF114×1　ICF152×1　ICF203×2 カスタマイズ可
備考				管理NO

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